探針式輪廓儀
Dektak Pro探針式輪廓儀
一款高精度表面形貌測(cè)量?jī)x器，通過(guò)接觸式探針技術(shù)實(shí)現(xiàn)納米級(jí)垂直分辨率的臺(tái)階高度、粗糙度和三維形貌分析，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體、光學(xué)鍍膜及材料科學(xué)研究領(lǐng)域。
- 產(chǎn)品品牌: Bruker公司
- 產(chǎn)品產(chǎn)地: 馬來(lái)西亞
- 應(yīng)用領(lǐng)域: 半導(dǎo)體與微電子、光學(xué)與顯示技術(shù)、材料科學(xué)、MEMS/NEMS（微/納機(jī)電系統(tǒng)）、生物醫(yī)學(xué)與仿生材料、質(zhì)量控制與失效分析
- 產(chǎn)品簡(jiǎn)介: Dektak Pro采用接觸式探針測(cè)量技術(shù)，通過(guò)金剛石或藍(lán)寶石探針在樣品表面掃描，記錄探針的垂直位移變化，從而生成高分辨率的表面輪廓數(shù)據(jù)（分辨率可達(dá)亞納米級(jí)）。
最大限度地提高可重復(fù)性和準(zhǔn)確性
Dektak Pro 提供準(zhǔn)確、精確的數(shù)據(jù)，具有最高的分辨率、最低的本底噪聲和任何市售測(cè)針輪廓儀中最容易的尖端更換。最先進(jìn)的測(cè)量和分析技術(shù)最大限度地提高了可重復(fù)性和準(zhǔn)確性，使單納米臺(tái)階高度測(cè)量和優(yōu)于 4 ? 的可重復(fù)性成為可能。
提高吞吐量
Dektak Pro 加速了測(cè)量和分析過(guò)程的每一步。直接驅(qū)動(dòng)掃描臺(tái)技術(shù)縮短了掃描之間的時(shí)間，Vision64 軟件中的 64 位并行處理實(shí)現(xiàn)了快速數(shù)據(jù)處理。®
Dektak Pro 中額外的速度和易用性技術(shù)進(jìn)步：
- 一種新算法使光學(xué)實(shí)時(shí)圖像中幾乎整個(gè)視場(chǎng)都聚焦在一起，從而更容易定位感興趣的特征。
- 新的臺(tái)階高度算法可自動(dòng)執(zhí)行分析程序，提高一致性，并最大限度地減少臺(tái)階高度計(jì)算中的潛在用戶(hù)錯(cuò)誤。
提高吞吐量
Dektak Pro 加速了測(cè)量和分析過(guò)程的每一步。直接驅(qū)動(dòng)掃描臺(tái)技術(shù)縮短了掃描之間的時(shí)間，Vision64 軟件中的 64 位并行處理實(shí)現(xiàn)了快速數(shù)據(jù)處理。®
Dektak Pro 中額外的速度和易用性技術(shù)進(jìn)步：
- 一種新算法使光學(xué)實(shí)時(shí)圖像中幾乎整個(gè)視場(chǎng)都聚焦在一起，從而更容易定位感興趣的特征。
- 新的臺(tái)階高度算法可自動(dòng)執(zhí)行分析程序，提高一致性，并最大限度地減少臺(tái)階高度計(jì)算中的潛在用戶(hù)錯(cuò)誤。
提供終極多功能性和易用性
適用于各種應(yīng)用
Dektak Pro 解決了許多工業(yè)和研究應(yīng)用中的研發(fā)、工藝開(kāi)發(fā)和 QA/QC 當(dāng)前和未來(lái)的需求，例如：
- 微電子學(xué)
- 厚膜涂層
- 生物材料
在動(dòng)態(tài)測(cè)量場(chǎng)景中準(zhǔn)確且響應(yīng)迅速
使用 Dektak Pro，一個(gè)測(cè)量頭可覆蓋 5 nm–1 mm 的步高和 0.03–15 mg 的負(fù)載（使用 N-Lite+ 選項(xiàng)），無(wú)需重新校準(zhǔn)。低慣量傳感器 （LIS 3） 可快速適應(yīng)表面地形的突然變化，并在動(dòng)態(tài)測(cè)量場(chǎng)景中保持準(zhǔn)確性和響應(yīng)能力
快速簡(jiǎn)便的觸控筆更換
Dektak Pro 獨(dú)特的自對(duì)準(zhǔn)測(cè)針組件有助于快速輕松地更換測(cè)針，同時(shí)消除過(guò)程中的任何潛在事故。布魯克提供最廣泛的測(cè)針尺寸，幾乎可以滿(mǎn)足任何應(yīng)用要求。
Dektak Pro 具有最快、最簡(jiǎn)單的吸頭更換功能，使吸頭切換變得簡(jiǎn)單，以滿(mǎn)足最廣泛的應(yīng)用需求。
選擇最適合您的應(yīng)用程序和預(yù)算的配置
Dektak Pro 有幾種標(biāo)準(zhǔn)配置，具有不同的載物臺(tái)尺寸 — 高達(dá) 200 mm 的晶圓全樣品通道 — 以及自動(dòng)化載物臺(tái)選項(xiàng)，以滿(mǎn)足您的獨(dú)特需求和預(yù)算。
- Dektak Pro E 或 -S： 手動(dòng) 100 mm XY 載物臺(tái)，帶或不帶手動(dòng) θ 旋轉(zhuǎn)
- Dektak Pro A： 自動(dòng) 150 mm XY 載物臺(tái)，帶自動(dòng) 360° θ
- Dektak Pro A200 （德克特 Pro A200）： 自動(dòng)編碼的 200 mm XY 載物臺(tái)，帶有精細(xì)編碼的自動(dòng) 360° θ
