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ULVAC ei-5z系列高真空蒸發(fā)鍍膜設(shè)備是一款可同時安裝電子束蒸發(fā)和熱蒸發(fā)源的多功能蒸發(fā)臺，可用于各種金屬、合金、非金屬蒸發(fā)鍍膜，可做垂直入射蒸發(fā)工藝，可做穿墻式設(shè)計，采用全自動控制，穩(wěn)定，高效