產(chǎn)品簡介：

ULVAC ei-5z系列高真空蒸發(fā)鍍膜設備是一款可同時安裝電子束蒸發(fā)和熱蒸發(fā)源的多功能蒸發(fā)臺，可用于各種金屬、合金、非金屬蒸發(fā)鍍膜，可做垂直入射蒸發(fā)工藝，可做穿墻式設計，采用全自動控制，穩(wěn)定，高效。

主要技術參數(shù)：

·適用于2-8inch各種形狀的Si、GaAs、玻璃陶瓷等基板；

·采用低空泵，可在20min內(nèi)達到3.0*10-4Pa，極限壓強可達3.0*10-5Pa或更低；

·采用電子束或熱蒸發(fā)源，擋板共用；

·膜厚均勻性好于±5%；